一種適于制造大尺寸高純度多晶硅鑄錠的真空爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200810033908.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN101311343B 公開（公告）日 2010-12-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN101311343B 申請(qǐng)公布日 2010-12-08
分類號(hào) C30B29/06(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C30B11/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 徐煒 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海晨安電爐制造有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海京滬專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 沈美英
地址 201804 上海市嘉定區(qū)黃渡工業(yè)園區(qū)春濃路278號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種適于制造大尺寸高純度多晶硅鑄錠的真空爐，保溫罩設(shè)置為可升降式，由伺服直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和一端固定設(shè)置在保溫罩頂部上的連動(dòng)桿組成的升降機(jī)構(gòu)主體安裝設(shè)置在爐蓋上，供電部件中的電極設(shè)置為水冷式，位于爐內(nèi)的輸電電纜設(shè)置為柔性水冷式。由于料臺(tái)和坩堝設(shè)置為可免受升降機(jī)構(gòu)的工作干擾、有利于確保結(jié)晶質(zhì)量的固定式，坩堝內(nèi)部容積的大小只與料臺(tái)的承載能力有關(guān)，便于設(shè)置大容量的坩堝，且采用了具有確?？煽抗ぷ鲏勖乃涫缴舷码姌O和水冷式柔性電纜，便于保溫罩的自由升降，結(jié)構(gòu)科學(xué)且合理，工作可靠且壽命長，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定且純度高，適于生產(chǎn)大尺寸、高純度的多晶硅鑄錠，具有很強(qiáng)的實(shí)用性。