一種雙面曝光的對準(zhǔn)裝置、方法及設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811557789.5 申請日 -
公開（公告）號 CN109613803A 公開（公告）日 2019-04-12
申請公布號 CN109613803A 申請公布日 2019-04-12
分類號 G03F9/00 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 傅志偉 申請（專利權(quán)）人 江蘇影速科技有限公司
代理機構(gòu) 哈爾濱市陽光惠遠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張勇
地址 221000 江蘇省徐州市邳州市恒山路西側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種雙面曝光的對準(zhǔn)裝置、方法及設(shè)備，屬于印刷線路板技術(shù)領(lǐng)域。所述裝置包括：包括定位標(biāo)記、打標(biāo)標(biāo)記和位置獲取裝置，在每一件待曝光樣品曝光之前都通過位置獲取裝置獲取定位標(biāo)記的位置信息，從而獲知定位標(biāo)記的在實際生產(chǎn)中的位置變化量，由于打標(biāo)標(biāo)記和定位標(biāo)記的相對位置不變，所以即獲知到打標(biāo)標(biāo)記在實際生產(chǎn)中的位置變化量，根據(jù)該位置變化量實時調(diào)整待曝光樣品的另一面曝光圖形的位置，解決了現(xiàn)有技術(shù)無法實時對打標(biāo)標(biāo)記進行實時定位而引起的曝光對位不準(zhǔn)的問題，提高了待曝光樣品雙面對準(zhǔn)的精度。