一種兩面對(duì)準(zhǔn)的倒置曝光設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710032580.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106814552B 公開（公告）日 2019-05-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN106814552B 申請(qǐng)公布日 2019-05-10
分類號(hào) G03F7/20（2006.01）I; G03F9/00（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 傅志偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇影速科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 哈爾濱市陽光惠遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 江蘇影速科技有限公司;江蘇影速光電技術(shù)有限公司
地址 221300 江蘇省徐州市邳州市邳州經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)華山路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種兩面對(duì)準(zhǔn)的倒置曝光設(shè)備，屬于直寫曝光機(jī)技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明的兩面對(duì)準(zhǔn)的倒置曝光設(shè)備，包括支撐結(jié)構(gòu)、曝光裝置、對(duì)準(zhǔn)裝置、載樣裝置和控制裝置；所述支撐結(jié)構(gòu)下部為一箱體結(jié)構(gòu)，曝光裝置和控制裝置位于所述箱體結(jié)構(gòu)內(nèi)，所述載樣裝置嵌于箱體結(jié)構(gòu)上表面并位于曝光裝置上方；所述支撐結(jié)構(gòu)上部為墻面結(jié)構(gòu)或龍門結(jié)構(gòu)，所述對(duì)準(zhǔn)裝置與支撐結(jié)構(gòu)上部連接且位于載樣裝置的上方。本發(fā)明的裝置能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體、PCB板等產(chǎn)品雙面曝光圖像精確對(duì)位，不會(huì)對(duì)板造成永久性的破壞；設(shè)備簡單，不需要額外添加用于打印或曝光標(biāo)記圖形的設(shè)備，節(jié)約成本。