一種帶有透明真空吸盤的倒置曝光設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720050159.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN206411417U 公開(kāi)（公告）日 2017-08-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN206411417U 申請(qǐng)公布日 2017-08-15
分類號(hào) G03F7/20(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 傅志偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇影速科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 哈爾濱市陽(yáng)光惠遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 上海譽(yù)刻智能裝備有限公司;江蘇影速光電技術(shù)有限公司;江蘇影速集成電路裝備股份有限公司
地址 201612 上海市松江區(qū)中心路1158號(hào)9幢401室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種帶有透明真空吸盤的倒置曝光設(shè)備，屬于直寫(xiě)曝光機(jī)技術(shù)領(lǐng)域。本實(shí)用新型的帶有透明真空吸盤的倒置曝光設(shè)備，包括支撐結(jié)構(gòu)、曝光裝置、對(duì)準(zhǔn)裝置、載樣裝置和控制裝置；所述支撐結(jié)構(gòu)下部為一箱體結(jié)構(gòu)，曝光裝置和控制裝置位于所述箱體結(jié)構(gòu)內(nèi)，所述載樣裝置嵌于箱體結(jié)構(gòu)上表面并位于曝光裝置上方；所述支撐結(jié)構(gòu)上部為墻面結(jié)構(gòu)或龍門結(jié)構(gòu)，所述對(duì)準(zhǔn)裝置與支撐結(jié)構(gòu)上部連接且位于載樣裝置的上方；所述載樣裝置4包括透明真空吸盤和真空發(fā)生裝置。本實(shí)用新型的設(shè)備能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)產(chǎn)品雙面曝光圖像精確對(duì)位；設(shè)備簡(jiǎn)單，節(jié)約成本。同時(shí)，樣品夾放于密閉環(huán)境或真空環(huán)境中，可以避免受到外界環(huán)境的污染，保證了曝光的良好質(zhì)量。