一種雙面對(duì)位曝光裝置及含有該裝置的激光直寫(xiě)設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720053360.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN206479769U 公開(kāi)（公告）日 2017-09-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN206479769U 申請(qǐng)公布日 2017-09-08
分類(lèi)號(hào) G03F7/20(2006.01)I 分類(lèi) 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 傅志偉 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 江蘇影速科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 哈爾濱市陽(yáng)光惠遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 上海譽(yù)刻智能裝備有限公司;江蘇影速光電技術(shù)有限公司
地址 201612 上海市松江區(qū)中心路1158號(hào)9幢401室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種雙面對(duì)位曝光裝置及含有該裝置的激光直寫(xiě)設(shè)備，屬于直寫(xiě)曝光機(jī)技術(shù)領(lǐng)域。本實(shí)用新型的雙面對(duì)位曝光裝置包括樣品承載裝置和分別位于樣品承載裝置兩側(cè)的對(duì)位裝置和曝光裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體、PCB板等產(chǎn)品雙面曝光圖像精確對(duì)位，特別是實(shí)現(xiàn)了對(duì)于無(wú)定位孔存在的PCB板的內(nèi)層板的雙面曝光的圖像精確對(duì)位；本實(shí)用新型的設(shè)備簡(jiǎn)單，不需要額外添加用于打印或曝光標(biāo)記圖形的設(shè)備，節(jié)約成本。