一種淬盤

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020128168.1 申請日 -
公開（公告）號 CN210956626U 公開（公告）日 2020-07-07
申請公布號 CN210956626U 申請公布日 2020-07-07
分類號 H01L21/673(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 胡毅 申請（專利權(quán)）人 桂林立德智興電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 541004廣西壯族自治區(qū)桂林市七星區(qū)七里店路70號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種淬盤，包括淬盤本體，淬盤本體上設(shè)有若干個放置載晶小淬盤的收容槽，收容槽的一個內(nèi)角處設(shè)有下沉的圓臺，圓臺內(nèi)設(shè)有載晶小淬盤自校正卡扣，卡扣固定在圓臺內(nèi)；自校正卡扣包括卡扣本體，卡扣本體上設(shè)有臺階，臺階上設(shè)有轉(zhuǎn)動塊和角碼，轉(zhuǎn)動塊通過內(nèi)嵌在卡扣本體上的第一轉(zhuǎn)動軸與卡扣本體轉(zhuǎn)動連接，臺階上還設(shè)有與卡扣本體一體成型的用于限制轉(zhuǎn)動塊轉(zhuǎn)動角度的限位塊，轉(zhuǎn)動塊和卡扣本體之間設(shè)有彈簧；角碼通過內(nèi)嵌在轉(zhuǎn)動塊上的第二轉(zhuǎn)動軸與轉(zhuǎn)動塊轉(zhuǎn)動連接。該淬盤可以使載晶的小淬盤從任意方向放入，且載晶小淬盤在收容槽內(nèi)不會隨意的偏轉(zhuǎn)，自動對齊定位邊，且不容易脫落，便于拾晶機(jī)械快速校正，使載晶小淬盤的晶粒放置精度高。??