用于陰極環(huán)修補的掩膜裝置及其使用方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710365174.1 申請日 -
公開（公告）號 CN107452900A 公開（公告）日 2017-12-08
申請公布號 CN107452900A 申請公布日 2017-12-08
分類號 H01L51/56;H01L51/52 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 茆勝 申請（專利權(quán)）人 南京睿顯電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市瑞方達(dá)知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王少虹;許國興
地址 210000 江蘇省南京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)興智路6號興智科技園C棟603室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于陰極環(huán)修補的掩膜裝置及其使用方法，掩膜裝置包括掩膜版，所述掩膜版包括顯示區(qū)遮擋部、鏤空部以及加強(qiáng)筋，所述鏤空部通過所述加強(qiáng)筋連接在所述顯示區(qū)遮擋部的外圍。本發(fā)明的掩膜裝置，用于陰極環(huán)修補時的遮擋保護(hù)，避免陰極環(huán)的修補材料進(jìn)入器件顯示區(qū)上而影響器件亮度及顯示均勻性等光電性能，避免了因采用濺射法制備金屬氧化物透明導(dǎo)電保護(hù)層時引起的黑點缺陷，從而可使用濺射、蒸鍍等各類PVD工藝實現(xiàn)陰極環(huán)保護(hù)，在最大程度上保證了器件的光輸出與工藝兼容性。