用于陰極環(huán)修補(bǔ)的掩膜裝置及其使用方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201710365174.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN107452900B | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-05-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN107452900B | 申請(qǐng)公布日 | 2020-05-05 |
| 分類號(hào) | H01L51/56;H01L51/52 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 茆勝 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 南京睿顯電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市瑞方達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 王少虹;許國(guó)興 |
| 地址 | 210000 江蘇省南京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)興智路6號(hào)興智科技園C棟603室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種用于陰極環(huán)修補(bǔ)的掩膜裝置及其使用方法，掩膜裝置包括掩膜版，所述掩膜版包括顯示區(qū)遮擋部、鏤空部以及加強(qiáng)筋，所述鏤空部通過(guò)所述加強(qiáng)筋連接在所述顯示區(qū)遮擋部的外圍。本發(fā)明的掩膜裝置，用于陰極環(huán)修補(bǔ)時(shí)的遮擋保護(hù)，避免陰極環(huán)的修補(bǔ)材料進(jìn)入器件顯示區(qū)上而影響器件亮度及顯示均勻性等光電性能，避免了因采用濺射法制備金屬氧化物透明導(dǎo)電保護(hù)層時(shí)引起的黑點(diǎn)缺陷，從而可使用濺射、蒸鍍等各類PVD工藝實(shí)現(xiàn)陰極環(huán)保護(hù)，在最大程度上保證了器件的光輸出與工藝兼容性。 |
