一種應(yīng)用精密六維調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的F-P可調(diào)諧濾波器、系統(tǒng)、校正及電調(diào)諧方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210420615.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114545703A 公開(kāi)（公告）日 2022-05-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN114545703A 申請(qǐng)公布日 2022-05-27
分類號(hào) G02F1/21（2006.01）I;G02B26/00（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 王義坤;叢蕊;高瑞弘;孟令強(qiáng);姚志雄;邊偉;賈建軍;王建宇 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 國(guó)科大杭州高等研究院
代理機(jī)構(gòu) 浙江杭州金通專利事務(wù)所有限公司 代理人 -
地址 310024浙江省杭州市西湖區(qū)象山支弄1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種應(yīng)用精密六維調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的F?P可調(diào)諧濾波器、系統(tǒng)、校正及電調(diào)諧方法，利用自帶閉環(huán)反饋控制系統(tǒng)的精密六維調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)作為電調(diào)諧執(zhí)行機(jī)構(gòu)，保證調(diào)諧過(guò)程中F?P腔內(nèi)表面兩個(gè)高反射率鏡面間的嚴(yán)格平行移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)基于多波束干涉的光學(xué)調(diào)諧濾波。另外，借助輔助校正的激光干涉二維測(cè)角模塊，精密六維調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)還可以作為初始裝調(diào)校正過(guò)程中的執(zhí)行機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)F?P腔內(nèi)表面兩鏡面間的嚴(yán)格平行。本發(fā)明所提供的濾波器具備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、裝調(diào)校正自動(dòng)化、通光孔徑大、濾波能力高的特點(diǎn)，光學(xué)濾波分辨率能夠達(dá)到納米量級(jí)，在超精細(xì)光譜結(jié)構(gòu)分析、激光諧振腔以及光通信領(lǐng)域擁有廣泛的應(yīng)用前景。