一種可標(biāo)定的亞納米級(jí)高精度微位移裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210174484.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114252002B | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-06-21 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114252002B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-21 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01B7/02;G01B11/02 | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 王義坤;孟令強(qiáng);梁新棟;叢蕊;邊偉;賈建軍;王建宇 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 國(guó)科大杭州高等研究院 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 浙江杭州金通專(zhuān)利事務(wù)所有限公司 | 代理人 | 鄧世鳳 |
| 地址 | 310024 浙江省杭州市西湖區(qū)象山支弄1號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種可標(biāo)定的亞納米級(jí)高精度微位移裝置，具有如下有益效果：基于電容測(cè)微反饋的壓電閉環(huán)控制可以有效消除壓電致動(dòng)器自身所固有遲滯與蠕變特性導(dǎo)致的開(kāi)環(huán)非線性控制，實(shí)現(xiàn)亞納米量級(jí)分辨能力的高精度微位移控制，但是這個(gè)控制能力還是停留在定性分辨的層面，無(wú)法作為精密定位領(lǐng)域的定位基準(zhǔn)，本發(fā)明利用微位移裝置所配備的FP腔在高性能光譜儀上能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米量級(jí)分辨能力微位移的定量標(biāo)定，標(biāo)定結(jié)果可以溯源到FP腔透射光譜峰間距，以建立壓電致動(dòng)器上的施加電壓與亞納米量級(jí)分辨能力微位移的定量標(biāo)定關(guān)系，從而能夠有效解決基于電容測(cè)微技術(shù)的壓電閉環(huán)控制亞納米量級(jí)分辨率的定量標(biāo)定與壓納米級(jí)高精度微位移控制問(wèn)題。 |
