一種可標定的亞納米級高精度微位移裝置及應用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210174484.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114252002A 公開（公告）日 2022-06-21
申請公布號 CN114252002A 申請公布日 2022-06-21
分類號 G01B7/02;G01B11/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王義坤;孟令強;梁新棟;叢蕊;邊偉;賈建軍;王建宇 申請（專利權）人 國科大杭州高等研究院
代理機構 浙江杭州金通專利事務所有限公司 代理人 鄧世鳳
地址 310024 浙江省杭州市西湖區(qū)象山支弄1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種可標定的亞納米級高精度微位移裝置及應用，具有如下有益效果：基于電容測微反饋的壓電閉環(huán)控制可以有效消除壓電致動器自身所固有遲滯與蠕變特性導致的開環(huán)非線性控制，實現(xiàn)亞納米量級分辨能力的高精度微位移控制，但是這個控制能力還是停留在定性分辨的層面，無法作為精密定位領域的定位基準，本發(fā)明利用微位移裝置所配備的FP腔在高性能光譜儀上能夠實現(xiàn)亞納米量級分辨能力微位移的定量標定，標定結果可以溯源到FP腔透射光譜峰間距，以建立壓電致動器上的施加電壓與亞納米量級分辨能力微位移的定量標定關系，從而能夠有效解決基于電容測微技術的壓電閉環(huán)控制亞納米量級分辨率的定量標定與壓納米級高精度微位移控制問題。