一種飛秒激光質(zhì)子直寫(xiě)系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310084441.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104049467A 公開(kāi)（公告）日 2014-09-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN104049467A 申請(qǐng)公布日 2014-09-17
分類(lèi)號(hào) G03F7/20(2006.01)I 分類(lèi) 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 李玉曉;王世啟;歐陽(yáng)勁志;陳燕;胡川南 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 河南工業(yè)技術(shù)研究院
代理機(jī)構(gòu) 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 鄭自群
地址 450047 河南省鄭州市博學(xué)路1000號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種飛秒激光質(zhì)子直寫(xiě)系統(tǒng)，用以解決現(xiàn)有的直寫(xiě)系統(tǒng)，存在刻寫(xiě)分辨率低，功率控制不穩(wěn)定，噪聲大，輪廓深度有誤差及對(duì)抗蝕劑的厚度要求有限制的問(wèn)題，包括：主控制器；質(zhì)子束生成系統(tǒng)，用于根據(jù)主控制器的控制，產(chǎn)生兆電子伏特Mev能量級(jí)的質(zhì)子束；刻寫(xiě)裝置，用于利用兆電子伏特Mev能量級(jí)的質(zhì)子束，在抗蝕材料工件表面進(jìn)行刻寫(xiě)出三維浮雕結(jié)構(gòu)；隨動(dòng)平臺(tái)，用于置放抗蝕材料工件，并運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)橫向和縱向的刻寫(xiě)；隨動(dòng)平臺(tái)控制系統(tǒng)，用于根據(jù)主控制器的控制，控制隨動(dòng)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)，與主控制器和隨動(dòng)平臺(tái)連接。上述飛秒激光質(zhì)子直寫(xiě)系統(tǒng)，利用高能質(zhì)子束刻寫(xiě)出高深寬比，側(cè)壁垂直光滑、線條邊緣粗糙度低和高密度、高精度的三維浮雕結(jié)構(gòu)。