一種生化測(cè)試片的制備工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610505160.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN106124596A 公開(kāi)(公告)日 2016-11-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN106124596A 申請(qǐng)公布日 2016-11-16
分類號(hào) G01N27/416(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 陳泓均 申請(qǐng)(專利權(quán))人 英太格電子科技(蘇州)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京同恒源知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉憲池
地址 215000 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)星漢街5號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種生化測(cè)試片的制備工藝,全程利用黃光蝕刻制程制備出生化測(cè)試片的金屬電極導(dǎo)線層、金屬氧化物反應(yīng)層和中隔層;本發(fā)明所述生化測(cè)試片的制備工藝,可以在低成本的情況下達(dá)成高精度的要求,并且具有阻止測(cè)試液擴(kuò)散的中隔層,可以更精準(zhǔn)的控制反應(yīng)液體量,導(dǎo)線材料使用低價(jià)的金屬電極,來(lái)降低黃金電極的成本,反應(yīng)區(qū)材料使用穩(wěn)定的金屬氧化物電極,可以提升電極的長(zhǎng)期穩(wěn)定性,不會(huì)隨時(shí)間拉長(zhǎng)而產(chǎn)生變異,造成量測(cè)不準(zhǔn)。