一種聲表濾波器及制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811622047.6 申請日 -
公開（公告）號 CN109462384A 公開（公告）日 2019-03-12
申請公布號 CN109462384A 申請公布日 2019-03-12
分類號 H03H9/02（2006.01）I; H03H9/64（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 董啟明 申請（專利權）人 河北時碩微芯科技有限公司
代理機構 北京志霖恒遠知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 河北時碩微芯科技有限公司
地址 065300 河北省廊坊市大廠回族自治縣潮白河工業(yè)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種聲表濾波器及制作方法，包括基片和在基片的金屬薄膜上制作形成的換能器，所述基片的側邊垂直于所述換能器的信號傳輸方向設置有散射結構。所述散射結構為金屬條，所述金屬條面向所述換能器的側面呈鋸齒狀。制作方法包括以下步驟：清洗；鍍膜；去靜電；光刻；腐蝕。本申請的有益效果是通過在基片上設置換能器以及金屬條結構的散射結構，使得經過所述散射結構的信號發(fā)生散射，進而避免了信號經基片端面反射后直接進入換能器內部而產生較大寄生雜波的影響，優(yōu)化了濾波器的通帶波動、帶外抑制等電性能指標。