空隙檢測方法及裝置
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202011066110.X | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN112180460A | 公開(公告)日 | 2021-01-05 |
申請公布號 | CN112180460A | 申請公布日 | 2021-01-05 |
分類號 | G01V8/20(2006.01)I;G01J1/02(2006.01)I | 分類 | 測量;測試; |
發(fā)明人 | 秦衡;李碧洲;紀(jì)秀范;尹雪露 | 申請(專利權(quán))人 | 艾普柯微電子(江蘇)有限公司 |
代理機構(gòu) | 北京博思佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 武娜 |
地址 | 214135江蘇省無錫市新吳區(qū)菱湖大道200-5號樓5層 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本申請?zhí)峁┮环N空隙檢測方法及裝置。本申請中,空隙檢測方法,應(yīng)用于空隙檢測裝置,空隙檢測裝置包括N個感光芯片,N個感光芯片沿第一方向排列,N為大于1的整數(shù),所述方法,包括:獲取N個感光芯片采集的N個第一光強值;比較N個第一光強值,獲取N個第一光強值中最大的M個第一光強值;M為正整數(shù);確定采集最大的M個第一光強值的M個感光芯片的第一位置信息;根據(jù)M個感光芯片的第一位置信息獲取空隙的第二位置信息。本申請的實施例,可以提高空隙檢測的精度,同時,可以降低空隙檢測的成本。?? |
