空隙檢測方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011066110.X 申請日 -
公開(公告)號 CN112180460A 公開(公告)日 2021-01-05
申請公布號 CN112180460A 申請公布日 2021-01-05
分類號 G01V8/20(2006.01)I;G01J1/02(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 秦衡;李碧洲;紀(jì)秀范;尹雪露 申請(專利權(quán))人 艾普柯微電子(江蘇)有限公司
代理機構(gòu) 北京博思佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 武娜
地址 214135江蘇省無錫市新吳區(qū)菱湖大道200-5號樓5層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┮环N空隙檢測方法及裝置。本申請中,空隙檢測方法,應(yīng)用于空隙檢測裝置,空隙檢測裝置包括N個感光芯片,N個感光芯片沿第一方向排列,N為大于1的整數(shù),所述方法,包括:獲取N個感光芯片采集的N個第一光強值;比較N個第一光強值,獲取N個第一光強值中最大的M個第一光強值;M為正整數(shù);確定采集最大的M個第一光強值的M個感光芯片的第一位置信息;根據(jù)M個感光芯片的第一位置信息獲取空隙的第二位置信息。本申請的實施例,可以提高空隙檢測的精度,同時,可以降低空隙檢測的成本。??