一種平面內(nèi)多晶織構(gòu)的測(cè)量方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710170444.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN106908461A 公開(kāi)（公告）日 2017-06-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN106908461A 申請(qǐng)公布日 2017-06-30
分類號(hào) G01N23/207 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 熊旭明;江向峰;張永水;王延凱;桑洪波;賀昱旻 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京布萊格科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京工信聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 朱振德;張榮
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)星湖街218號(hào)生物園C18棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種平面內(nèi)多晶織構(gòu)的測(cè)量方法。包括：采用X射線管發(fā)出X射線，所述X射線為線焦斑；使用Sollar狹縫限制X射線在線焦斑長(zhǎng)度方向的發(fā)散，并使用發(fā)散狹縫控制所述X射線在垂直于線焦斑方向的發(fā)散；使呈線焦斑的X射線照射到待測(cè)產(chǎn)品上，并使用X射線探測(cè)器接收待測(cè)產(chǎn)品衍射的X射線；控制所述X射線管與所述X射線探測(cè)器對(duì)待測(cè)樣品進(jìn)行Phi掃描，并由X射線探測(cè)器記錄接收到的待測(cè)產(chǎn)品衍射的X射線的強(qiáng)度，根據(jù)待測(cè)產(chǎn)品衍射的X射線的強(qiáng)度的變化得出待測(cè)產(chǎn)品的平面內(nèi)多晶織構(gòu)。本發(fā)明的測(cè)量速度相比于現(xiàn)有技術(shù)有了很大的提高，測(cè)量值的波動(dòng)范圍也大幅度減少。并保持了測(cè)量的精度。同時(shí)，本發(fā)明具有低成本優(yōu)勢(shì)。