貼裝裝置及其貼裝鍵合力閉環(huán)控制裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021013185.7 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211788943U | 公開（公告）日 | 2020-10-27 |
| 申請公布號(hào) | CN211788943U | 申請公布日 | 2020-10-27 |
| 分類號(hào) | H01L21/67(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 王文;林佛迎 | 申請（專利權(quán)）人 | 深圳市微組半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳正和天下專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 深圳市微組半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 地址 | 518000廣東省深圳市寶安區(qū)松崗街道沙浦社區(qū)洋涌工業(yè)區(qū)8路2號(hào)碧桂園廠房6棟401 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種貼裝裝置及其貼裝鍵合力閉環(huán)控制裝置，包括滑臺(tái)、吸嘴組件，壓力傳感組件、基板以及控制組件；滑臺(tái)上下位置可調(diào)地安裝在基板上，吸嘴組件安裝在滑臺(tái)上；壓力傳感組件測量吸嘴組件吸附貼裝器件貼裝時(shí)的鍵合力；壓力傳感組件與控制組件通信連接，控制組件根據(jù)鍵合力調(diào)節(jié)滑臺(tái)的高度位置，以調(diào)節(jié)貼裝時(shí)的鍵合力，保持鍵合力在設(shè)定范圍。由壓力傳感組件交互來的鍵合力的數(shù)據(jù)，一段范圍的鍵合力對(duì)應(yīng)一種運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，鍵合力偏小時(shí)，控制組件控制滑臺(tái)往壓緊芯片的方向微動(dòng)一定數(shù)值；當(dāng)鍵合力偏大，則控制組件控制滑臺(tái)往壓緊芯片的反方向微動(dòng)一定數(shù)值，進(jìn)而使鍵合力在需求的設(shè)定范圍內(nèi)。?? |
