激光加熱裝置及其激光加熱閉環(huán)控制裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021013276.0 申請日 -
公開(公告)號 CN211788944U 公開(公告)日 2020-10-27
申請公布號 CN211788944U 申請公布日 2020-10-27
分類號 H01L21/67(2006.01)I;G01J5/00(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王文;林佛迎 申請(專利權(quán))人 深圳市微組半導體科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳正和天下專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 深圳市微組半導體科技有限公司
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)松崗街道沙浦社區(qū)洋涌工業(yè)區(qū)8路2號碧桂園廠房6棟401
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種激光加熱裝置及其激光加熱閉環(huán)控制裝置,包括激光閉環(huán)鏡組件、紅外測溫組件、以及控制組件;激光閉環(huán)鏡組件安裝在激光頭出光的方向上,激光閉環(huán)鏡組件內(nèi)設(shè)有鏡片組,使激光頭射出的激光穿過和折射,激光閉環(huán)鏡組件上設(shè)有供折射出的光線射出的出光口;紅外測溫組件與出光口相對,以測取折射出的激光的溫度;控制組件分別與激光光纖耦合組件和紅外測溫組件通信連接,以根據(jù)測取的溫度信息控制激光頭射出的溫度。激光加熱閉環(huán)控制裝置能測得激光的溫度,并反饋給控制組件,能夠精確控制溫度和加熱時間,返修的效率高,定位精準,并能夠有效避免溢出熱的產(chǎn)生。??