一種高精度氣體配氣裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620160123.6 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN205412912U 公開（公告）日 2016-08-03
申請公布號(hào) CN205412912U 申請公布日 2016-08-03
分類號(hào) B01F15/04(2006.01)I;B01F3/02(2006.01)I;B01F13/00(2006.01)I;G05D16/20(2006.01)I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 王旭敏 申請（專利權(quán)）人 常州順創(chuàng)電氣科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 213000 江蘇省常州市武進(jìn)區(qū)常武中路18號(hào)常州科教城中科創(chuàng)業(yè)中心A3幢A-3-501
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種高精度氣體配氣裝置，由閥控選擇模塊和流量控制模塊組成。閥控選擇模塊包括三路分別帶有連體常閉進(jìn)氣電磁閥的進(jìn)氣管路、二路分別帶有連體常閉出氣電磁閥的出氣管路、配氣選擇開關(guān)、出氣接口選擇開關(guān)和開關(guān)電源。流量控制模塊包括二個(gè)分別帶有出氣調(diào)節(jié)閥的質(zhì)量流量器、一個(gè)閥控選擇旋轉(zhuǎn)開關(guān)和兩個(gè)電壓表頭。本實(shí)用新型通過巧妙設(shè)置時(shí)間延時(shí)電路，通過調(diào)節(jié)多個(gè)電磁閥，實(shí)現(xiàn)多源源氣組合在一起的精確配氣，整個(gè)設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，利于推廣。