一種用于三甲基硅烷實驗室的除塵裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120432219.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214552239U 公開（公告）日 2021-11-02
申請公布號 CN214552239U 申請公布日 2021-11-02
分類號 B01D50/00（2006.01）I;B01D53/86（2006.01）I;B01D53/56（2006.01）I;B01D53/26（2006.01）I;B01D53/18（2006.01）I 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 史雋濤 申請（專利權）人 沁陽國順硅源光電氣體有限公司
代理機構 焦作市科彤知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 秦貞明
地址 454550河南省焦作市沁陽市東環(huán)南路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于化學氣相沉積技術領域，特別涉及一種用于三甲基硅烷實驗室的除塵裝置，旋風除塵器進氣口連接實驗室尾氣管，旋風除塵器連接至濾筒除塵器，旋風除塵器和濾筒除塵器出灰口連接至集灰罐進灰口，濾筒除塵器出氣口連接至活性炭氈過濾器，活性炭氈過濾器出氣口連接至光催化反應器，光催化反應器進氣口還連接有氯氣進氣管，光催化反應器出氣口連接至引風機，引風機出氣口伸至噴淋吸收塔底部集水槽液面下，噴淋吸收塔出液口連接至儲水池，噴淋吸收塔設有噴淋器，噴淋器進水端通過循環(huán)泵連接至儲水池，噴淋吸收塔出氣口連接至排空管，排空管內(nèi)還設有生石灰填料層。該除塵裝置的除塵效果好，尾氣凈化更徹底，實現(xiàn)無害化排放，避免大氣污染。