烘干固化爐裝置和烘干方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110297953.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112964047A 公開（公告）日 2021-06-15
申請公布號 CN112964047A 申請公布日 2021-06-15
分類號 F26B15/14（2006.01）I;F26B25/18（2006.01）I;F26B25/00（2006.01）I;F26B25/06（2006.01）I;F26B3/02（2006.01）I 分類 干燥;
發(fā)明人 左國軍;吳勇茂;鐘文魁;羅搏飛;冼志軍 申請（專利權）人 常州捷佳創(chuàng)智能裝備有限公司
代理機構 北京友聯(lián)知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 尚志峰
地址 213133江蘇省常州市新北區(qū)機電工業(yè)園寶塔山路9號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種烘干固化爐裝置和烘干方法，固化爐裝置包括：花籃，工件沿第一方向疊放于花籃上，爐體裝置，花籃沿第二方向在爐體裝置內傳送，第一方向和第二方向相垂直。本發(fā)明的技術方案中，花籃用于裝載硅片，并將硅片送入爐體裝置進行烘干，當硅片烘干完成后，又將硅片傳送至其他部件，方便硅片進行下一道工序。這樣使得烘干固化爐裝置具有自動烘干硅片的功能，從而滿足設備的自動化要求，同時提高了烘干固化爐裝置的烘干效率。