一種生物識別模塊及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911159460.8 申請日 -
公開（公告）號 CN111029261A 公開（公告）日 2021-09-24
申請公布號 CN111029261A 申請公布日 2021-09-24
分類號 H01L21/50;H01L21/56;H01L21/60;H01L23/31;H01L23/488 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王橋 申請（專利權）人 徐州順意半導體科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 221000 江蘇省徐州市金山東路北側中國礦業(yè)大學國家大學科技園泉山科技樓209室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種生物識別模塊及其制備方法，其方法包括：提供具有相對的第一表面以及第二表面的襯底，在所述襯底的第一表面上形成第一介質層以及導電布線層；在所述第一介質層中形成一開槽區(qū)，接著在所述開槽區(qū)中嵌入一彈性緩沖層；提供一載板，在所述載板上設置離型膜以及生物識別芯片，通過光刻工藝在所述生物識別芯片的焊盤的四周形成金屬擋墻結構，在所述導電布線層中與所述焊盤對應的區(qū)域設置焊球，接著將所述生物識別芯片設置于所述導電布線層上，使得所述彈性緩沖層接觸所述生物識別芯片，并通過回流焊工藝使得焊球融化進而嵌入到相應的所述金屬擋墻結構中；在所述襯底上形成塑封層并在其中形成導電柱；最后減薄所述襯底。