導(dǎo)電,抗腐蝕,耐磨損,高硬度類金剛石涂層的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610278839.0 申請日 -
公開（公告）號 CN107338414A 公開（公告）日 2017-11-10
申請公布號 CN107338414A 申請公布日 2017-11-10
分類號 C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 白春陽;王俊波;任睦琳 申請（專利權(quán)）人 大連共享偉業(yè)科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 116600 遼寧省大連市保稅區(qū)華鐵工業(yè)園IC-45號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種導(dǎo)電，抗腐蝕，耐磨損，高硬度碳基薄的制備方法，用真空室加熱管加熱，離子源對氬氣進(jìn)行離化，對真空室轉(zhuǎn)架上裝夾的基材進(jìn)行清洗和活化，待達(dá)到真空壓強(qiáng)后，磁控靶沉積鈦金屬，再用離子源進(jìn)行乙炔離化，最后惰性氣體中冷卻。本發(fā)明制備的薄膜導(dǎo)電,抗腐蝕,耐磨損,高硬度等性能，滿足半導(dǎo)體，手機(jī)，化工電解，電火花加工等眾多行業(yè)應(yīng)用需求。