真空鍍膜機(jī)電弧陰極翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201420118437.0 申請日 -
公開（公告）號 CN203741406U 公開（公告）日 2014-07-30
申請公布號 CN203741406U 申請公布日 2014-07-30
分類號 C23C14/34(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 侯玉萍;王洪權(quán);龔健 申請（專利權(quán)）人 大連共享偉業(yè)科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 116113 遼寧省大連市甘井子區(qū)大連灣振興路200號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于一種真空鍍膜機(jī)電弧陰極翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括在電弧陰極體固定板（11）中心裝有輔助陽極（13），其特征在于在密封壓板（9）的下邊固定兩個翻轉(zhuǎn)套（20），在翻轉(zhuǎn)套（20）和換向塊（21）上固定有翻轉(zhuǎn)銷（19）；換向塊（21）中的直線軸承（5）內(nèi)活動地裝有滑桿（3），滑桿（3）右端穿過電弧陰極體固定板（11），并用壓緊螺母（17）與電弧陰極體固定板（11）固定連接；滑桿（3）左端用連接螺釘（1）固定一個擋塊（2）；直線軸承（5）的左端裝有孔用擋圈（4）。該實(shí)用新型在更換和維修靶材時，單人就可輕松地快捷地操作，不會對密封件造成磨損，對靶材和輔陽的間隙沒有影響。