陰極體磁場旋轉機構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620383886.7 申請日 -
公開（公告）號 CN206359606U 公開（公告）日 2017-07-28
申請公布號 CN206359606U 申請公布日 2017-07-28
分類號 C23C14/35(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 白春陽;任睦琳;李宏艷 申請（專利權）人 大連共享偉業(yè)科技股份有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 116600 遼寧省大連市保稅區(qū)華鐵工業(yè)園IC-45號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于一種陰極體上使用的永久磁鐵旋旋機構，包括電機6，電機支架7，小齒輪8，大齒輪2，磁鐵背鐵3，壓帽5，滑套10，水管4，在水管4上用滑套10把大齒輪8支撐起來，再用壓帽5把滑套10固定，大齒輪8橫向有0.3mm移動間隙，小齒輪2固定在電機6軸上，電機6固定電機支架7上，電機支架7固定在陰極體座9，電機6通電，大齒輪8旋轉，大齒輪8帶動磁鐵旋轉。該發(fā)明結構簡單，提高靶材的利用率，節(jié)約環(huán)境資源。