一種離子引出系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710560156.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109216141A 公開(kāi)（公告）日 2019-01-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN109216141A 申請(qǐng)公布日 2019-01-15
分類號(hào) H01J37/04;H01J37/15;H01J37/317 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 方明江;蔡成振 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無(wú)錫誠(chéng)承電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 214028江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)城南路208號(hào)A棟一樓東
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種離子引出系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)裝置，包括：X軸運(yùn)動(dòng)模塊、Y軸運(yùn)動(dòng)模塊、Z軸運(yùn)動(dòng)模塊、R軸運(yùn)動(dòng)模塊、真空密封模塊、電極模塊，所述電極模塊由引出地電極、抑制電極、絕緣瓷柱等構(gòu)成，該裝置主要作用是驅(qū)動(dòng)真空腔室中的電極模塊相對(duì)于離子源弧室引出板做相應(yīng)的運(yùn)動(dòng)，提高束流的傳輸效率與品質(zhì)，形成理想束流發(fā)射狀態(tài)，變于后面光路部件充分發(fā)揮作用。