一種晶圓預剝離裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111574566.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114220753A 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN114220753A 申請公布日 2022-03-22
分類號 H01L21/67（2006.01）I;B08B3/12（2006.01）I;B08B3/14（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 方明江 申請（專利權）人 無錫誠承電子科技有限公司
代理機構 江蘇邁圖律師事務所 代理人 鮑敬
地址 214000江蘇省無錫市新吳區(qū)錫梅路88號無錫環(huán)普萬聯國際產業(yè)園B號廠房一樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于半導體剝離設備技術領域，尤其為一種晶圓預剝離裝置，包括超聲波發(fā)生器和底部為漏斗狀的溶液槽，所述超聲波發(fā)生器上連接有震動棒，所述震動棒位于溶液槽內，所述溶液槽內安裝有片架支撐架，所述片架支撐架的頂部安裝有圓片架，所述溶液槽的底部連接有兩組并聯在一起的過濾組件，所述溶液槽內設有導管，所述導管位于圓片架的正上方，所述導管上連接有加熱器，所述加熱器和兩個過濾組件之間連接有同一個循環(huán)泵本發(fā)明能夠延長高壓剝離機保養(yǎng)周期、并且有效回收金屬，通過采用兩套過濾組件可以保證更換濾芯時繼續(xù)工作，減少宕機時間。