一種多陰極長壽命型離子源

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910189383.4 申請日 -
公開（公告）號 CN109786199A 公開（公告）日 2019-05-21
申請公布號 CN109786199A 申請公布日 2019-05-21
分類號 H01J37/317（2006.01）I; H01J37/08（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 方明江; 蔡成振 申請（專利權(quán)）人 無錫誠承電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 214028 江蘇省無錫市新吳區(qū)城南路208號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種多陰極長壽命型離子源，采用間接式加熱陰極的方式。由軸向?qū)ΨQ的燈絲和陰極的熱陰極組合構(gòu)成雙陰極結(jié)構(gòu)，多組雙陰極結(jié)構(gòu)可自由切換離子發(fā)射端及反射端，提高離子源的壽命，提高離子注入機(jī)設(shè)備的穩(wěn)定性與高效率。