一種用于LDI紫外直寫鏡頭配套檢測平臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020322558.2 申請日 -
公開（公告）號 CN211855787U 公開（公告）日 2020-11-03
申請公布號 CN211855787U 申請公布日 2020-11-03
分類號 G01M11/02(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 向先兵;陳銘勇 申請（專利權(quán)）人 深圳市燦銳科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市凱博企服專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 深圳市燦銳科技有限公司
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)福永街道鳳塘大道50號鑫龍科技園A棟2樓202
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于LDI紫外直寫鏡頭配套檢測平臺，包括平臺、檢測安裝座、LDI鏡頭、CCD相機(jī)、LDI鏡頭升降位移臺、分辨率板和分辨率板升降位移臺，平臺的上表面固定設(shè)置檢測安裝座，檢測安裝座的上表面設(shè)置與CCD相機(jī)相配合的CCD相機(jī)安裝卡座，所述與檢測安裝座相配合LDI鏡頭通過LDI鏡頭升降位移臺可上下滑動的設(shè)置在平臺上，所述與LDI鏡頭相配合的分辨率板通過分辨率板升降位移臺可上下滑動的設(shè)置在平臺上，且分辨率板位于LDI鏡頭的上方。本實(shí)用新型解決了傳統(tǒng)檢測平臺無法滿足LDI鏡頭測試需要的高精度、高效率和高穩(wěn)定性的檢測要求。??