基于LDI成像技術(shù)的TIR棱鏡補(bǔ)償結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021586638.5 申請日 -
公開（公告）號 CN213240800U 公開（公告）日 2021-05-18
申請公布號 CN213240800U 申請公布日 2021-05-18
分類號 G03F7/20 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 向先兵;陳銘勇 申請（專利權(quán)）人 深圳市燦銳科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市凱博企服專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 李紹飛
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)福永街道鳳塘大道50號鑫龍科技園A棟2樓202
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種基于LDI成像技術(shù)的TIR棱鏡補(bǔ)償結(jié)構(gòu)，包括在同一射線上的物面、TIR棱鏡、玻璃模塊和紫外鏡頭，所述物面、TIR棱鏡、玻璃模塊和紫外鏡頭在由左向右的方向上依次排布。本實(shí)用新型重新設(shè)計(jì)一種新的TIR棱鏡補(bǔ)償方案，來避免TIR棱鏡帶來的成像上的像差現(xiàn)象，提高LDI紫外鏡頭曝光效果，大幅提升了刻蝕精度，避免了避免像差過大導(dǎo)致的刻蝕不均勻。