一種PKG用單顆UNIT自動清洗裝置及其方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111217703.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113964069A 公開（公告）日 2022-01-21
申請公布號 CN113964069A 申請公布日 2022-01-21
分類號 H01L21/673（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 郭強;馬勉之 申請（專利權(quán)）人 華天科技（南京）有限公司
代理機構(gòu) 西安通大專利代理有限責任公司 代理人 高博
地址 211805江蘇省南京市浦口區(qū)橋林街道丁香路16號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種PKG用單顆UNIT自動清洗裝置及其方法，裝置底座上設置有濾網(wǎng)扣蓋，單顆UNIT設置在裝置底座內(nèi)，位于裝置底座和濾網(wǎng)扣蓋之間，裝置底座的底部開有過濾孔。采用本發(fā)明的裝置及方法進行返工作業(yè)，可優(yōu)化現(xiàn)有流程，減少人員工作量，提升效率及返工質(zhì)量。