光譜橢偏儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200780022259.4 申請日 -
公開（公告）號 CN101467306A 公開（公告）日 2009-06-24
申請公布號 CN101467306A 申請公布日 2009-06-24
分類號 H01Q19/06(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 呂彤欣;王笑寒 申請（專利權(quán)）人 睿勵微電子設(shè)備（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市金杜律師事務(wù)所 代理人 睿勵科學(xué)儀器（上海）有限公司;睿勵微電子設(shè)備（上海）有限公司
地址 美國加利福尼亞
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明揭示了一種光學(xué)測量和/或檢測裝置，其在一個應(yīng)用中可用來檢測半導(dǎo)體器件。本發(fā)明揭示了一種在橢偏儀中用于獲取待測器件信息的方法，其中包括以下步驟：使用多個起偏器提供多個入射偏振光束，其中每一個光束在一個設(shè)定好的偏振角下被起偏；使用一個拋物面反射器將該多個入射偏振光束聚焦在待測器件上某一點(diǎn)；使用一個拋物面反射器收集從該待測器件上反射的多個光束；使用多個檢偏器檢偏該收集到的光束，其中每一個檢偏器具有設(shè)定好的與相應(yīng)起偏器相對應(yīng)的偏振角。