同時(shí)具有多波長、多入射角和多方位角的光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200780016961.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN101443647A 公開（公告）日 2009-05-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN101443647A 申請(qǐng)公布日 2009-05-27
分類號(hào) G01N21/55(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 呂彤欣;王笑寒 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 睿勵(lì)微電子設(shè)備（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市金杜律師事務(wù)所 代理人 睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司;睿勵(lì)微電子設(shè)備（上海）有限公司
地址 美國加利福尼亞
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明揭示了一種光學(xué)測(cè)量和/或檢測(cè)裝置，該裝置在一個(gè)應(yīng)用中可被用來檢測(cè)半導(dǎo)體器件。它包括：光源，用以提供入射光線；具有內(nèi)反射面的半拋物面反射器，其中，所述反射器具有焦點(diǎn)和概要軸；和置于焦點(diǎn)附近的待測(cè)器件。和反射器的對(duì)稱軸平行的入射光線進(jìn)入反射器后，將被導(dǎo)向到焦點(diǎn)以及從待測(cè)器件上反射離開，從而產(chǎn)生表示該待測(cè)器件的指示信息，然后反射光線離開該反射器。探測(cè)器陣列接收反射出來的光線，該光線可被分析以確定待測(cè)器件的特征。