同時具有多波長、多入射角和多方位角的光學測量系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200780016961.X 申請日 -
公開（公告）號 CN101443647B 公開（公告）日 2012-02-29
申請公布號 CN101443647B 申請公布日 2012-02-29
分類號 G01N21/55(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 呂彤欣;王笑寒 申請（專利權(quán)）人 睿勵微電子設(shè)備（上海）有限公司
代理機構(gòu) 北京市金杜律師事務(wù)所 代理人 睿勵科學儀器（上海）有限公司;睿勵微電子設(shè)備（上海）有限公司
地址 200120 上海浦東新區(qū)華佗路68號張江創(chuàng)業(yè)園6幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明揭示了一種光學測量和/或檢測裝置，該裝置在一個應(yīng)用中可被用來檢測半導(dǎo)體器件。它包括：光源，用以提供入射光線；具有內(nèi)反射面的半拋物面反射器，其中，所述反射器具有焦點和對稱軸；和置于焦點附近的待測器件。和反射器的對稱軸平行的入射光線進入反射器后，將被導(dǎo)向到焦點以及從待測器件上反射離開，從而產(chǎn)生表示該待測器件的指示信息，然后反射光線離開該反射器。探測器陣列接收反射出來的光線，該光線可被分析以確定待測器件的特征。