光譜橢偏儀

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200780022259.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN101467306B 公開（公告）日 2012-12-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN101467306B 申請(qǐng)公布日 2012-12-26
分類號(hào) G01N21/21(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 呂彤欣;王笑寒 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 睿勵(lì)微電子設(shè)備（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市金杜律師事務(wù)所 代理人 睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司;睿勵(lì)微電子設(shè)備（上海）有限公司
地址 201200 上海浦東新區(qū)華佗路68號(hào)張江創(chuàng)業(yè)園6幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明揭示了一種光學(xué)測(cè)量和/或檢測(cè)裝置，其在一個(gè)應(yīng)用中可用來(lái)檢測(cè)半導(dǎo)體器件。本發(fā)明揭示了一種在橢偏儀中用于獲取待測(cè)器件信息的方法，其中包括以下步驟：使用多個(gè)起偏器提供多個(gè)入射偏振光束，其中每一個(gè)光束在一個(gè)設(shè)定好的偏振角下被起偏；使用一個(gè)拋物面反射器將該多個(gè)入射偏振光束聚焦在待測(cè)器件上某一點(diǎn)；使用一個(gè)拋物面反射器收集從該待測(cè)器件上反射的多個(gè)光束；使用多個(gè)檢偏器檢偏該收集到的光束，其中每一個(gè)檢偏器具有設(shè)定好的與相應(yīng)起偏器相對(duì)應(yīng)的偏振角。