一種用于化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備的研磨頭的擋圈

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111289530.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114131502A 公開（公告）日 2022-03-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN114131502A 申請(qǐng)公布日 2022-03-04
分類號(hào) B24B37/34（2012.01）I;B24B37/12（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 左少杰;李春龍;劉小俊;卓鴻俊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京子牛亦東科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京辰權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張曉玲
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)科谷一街10號(hào)院6號(hào)樓3層305-11（北京自貿(mào)試驗(yàn)區(qū)高端產(chǎn)業(yè)片區(qū)亦莊組團(tuán)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備的研磨頭的擋圈，包括：金屬材料環(huán)；以及塑料嵌包結(jié)構(gòu)，所述塑料嵌包結(jié)構(gòu)嵌包所述金屬材料環(huán)，并且所述塑料嵌包結(jié)構(gòu)通過(guò)耦合結(jié)構(gòu)與所述金屬材料環(huán)連接；其中，所述擋圈設(shè)置有貫穿其內(nèi)外側(cè)壁的至少一個(gè)通孔。本發(fā)明的擋圈通過(guò)設(shè)置貫穿其內(nèi)外側(cè)壁的通孔，使得用于清洗研磨頭的液體可以從側(cè)面進(jìn)入到擋圈和隔膜之間的縫隙中，從而去除殘留在縫隙中的研磨液，減少研磨液結(jié)晶，進(jìn)而減少結(jié)晶掉落導(dǎo)致的晶圓刮傷。