一種用于化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備的研磨頭

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111406652.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114310657A 公開(kāi)（公告）日 2022-04-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN114310657A 申請(qǐng)公布日 2022-04-12
分類號(hào) B24B37/27（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I;B24B53/017（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 左少杰;李春龍;劉小俊;卓鴻俊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京子牛亦東科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京辰權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張曉玲
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)科谷一街10號(hào)院6號(hào)樓3層305-11（北京自貿(mào)試驗(yàn)區(qū)高端產(chǎn)業(yè)片區(qū)亦莊組團(tuán)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備的研磨頭，其通過(guò)在擋圈外圍設(shè)置整理環(huán)和位于所述整理環(huán)上方的環(huán)形氣囊，使研磨頭兼具研磨功能和整理功能，簡(jiǎn)化了結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。另外，由于本發(fā)明將整理環(huán)集成在研磨頭上，因此，相比現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明解決了整理器與研磨頭容易相撞的問(wèn)題。此外，本發(fā)明的整理環(huán)的下表面積比現(xiàn)有的整理器的下表面積更大，因此，提高了對(duì)研磨墊的整理效率。