一種用于化學機械研磨設備的研磨頭

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111290783.8 申請日 -
公開（公告）號 CN114178980A 公開（公告）日 2022-03-15
申請公布號 CN114178980A 申請公布日 2022-03-15
分類號 B24B37/30（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I;B24B57/02（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 左少杰;李春龍;劉小俊;卓鴻俊 申請（專利權）人 北京子牛亦東科技有限公司
代理機構 北京辰權知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 張曉玲
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)科谷一街10號院6號樓3層305-11（北京自貿(mào)試驗區(qū)高端產(chǎn)業(yè)片區(qū)亦莊組團）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于化學機械研磨設備的研磨頭，該研磨頭通過在研磨頭本體上設置與擋圈和隔膜之間的縫隙相連通的通孔，同時設置與所述通孔相連通的傳輸管道，使得研磨液從所述縫隙流出后能夠均勻分布在晶圓表面，從而確保晶圓表面的平坦化。