一種用于化學(xué)機械研磨設(shè)備的研磨頭的擋圈

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111289545.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114147624A 公開（公告）日 2022-03-08
申請公布號 CN114147624A 申請公布日 2022-03-08
分類號 B24B37/32（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 左少杰;李春龍;劉小俊;卓鴻俊 申請（專利權(quán)）人 北京子牛亦東科技有限公司
代理機構(gòu) 北京辰權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張曉玲
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)科谷一街10號院6號樓3層305-11（北京自貿(mào)試驗區(qū)高端產(chǎn)業(yè)片區(qū)亦莊組團(tuán)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于化學(xué)機械研磨設(shè)備的研磨頭的擋圈，包括：金屬材料環(huán)，所述金屬材料環(huán)的上表面設(shè)置有螺栓孔；以及塑料嵌包結(jié)構(gòu)，所述塑料嵌包結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述金屬材料環(huán)的兩個側(cè)面和下表面，并且所述塑料嵌包結(jié)構(gòu)的上表面和所述金屬材料環(huán)的上表面齊平；其中，所述塑料嵌包結(jié)構(gòu)與所述金屬材料環(huán)通過耦合結(jié)構(gòu)連接。本發(fā)明的擋圈取消了粘接劑的使用，利用成型工藝將塑料嵌包結(jié)構(gòu)包裹在金屬材料環(huán)的下表面和側(cè)面，解決了粘結(jié)劑掉粉和剝離的問題，從而避免了晶圓刮傷、滑出和破片的發(fā)生。另外，所述金屬材料環(huán)的上表面不存在塑料材料，避免了在旋擰螺栓時發(fā)生塑料嵌包結(jié)構(gòu)變形而造成擋圈的工作面無法保持水平的問題，從而保證了晶圓的平坦度。