機(jī)械手零點(diǎn)位置自動(dòng)校準(zhǔn)的方法及機(jī)械手傳輸位置校準(zhǔn)的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111614098.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114474046A 公開（公告）日 2022-05-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN114474046A 申請(qǐng)公布日 2022-05-13
分類號(hào) B25J9/16（2006.01）I 分類 手動(dòng)工具；輕便機(jī)動(dòng)工具；手動(dòng)器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 劉小俊;左少杰;李春龍;卓鴻俊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京子牛亦東科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京辰權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)科谷一街10號(hào)院6號(hào)樓3層305-11（北京自貿(mào)試驗(yàn)區(qū)高端產(chǎn)業(yè)片區(qū)亦莊組團(tuán)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，具體公開了一種機(jī)械手零點(diǎn)位置自動(dòng)校準(zhǔn)的方法及機(jī)械手傳輸位置校準(zhǔn)的方法，包括以下步驟：對(duì)第X組機(jī)械臂上轉(zhuǎn)軸的零點(diǎn)位置進(jìn)行校準(zhǔn)；包括以下步驟：驅(qū)動(dòng)所述機(jī)械上臂朝靠近所述機(jī)械下臂的方向運(yùn)動(dòng)；獲取所述第一激光器、第二激光器之間收發(fā)的激光強(qiáng)度，并判斷所述激光強(qiáng)度的高低；確定所述激光強(qiáng)度達(dá)到預(yù)設(shè)最高值并記錄此時(shí)所述步進(jìn)馬達(dá)的步數(shù)Sx，將步數(shù)Sx作為所述轉(zhuǎn)軸校準(zhǔn)后的零點(diǎn)位置，其中，N為正整數(shù)，X選自1至N的正整數(shù)。本申請(qǐng)通過(guò)在機(jī)械上臂設(shè)置第一激光器、機(jī)械下臂設(shè)置第二激光器，根據(jù)激光強(qiáng)度實(shí)現(xiàn)對(duì)零點(diǎn)位置的校準(zhǔn)，減少零點(diǎn)位置校準(zhǔn)的時(shí)間和大幅提高零點(diǎn)位置校準(zhǔn)精度。