耐腐蝕的氣體噴淋頭及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210119168.9 申請日 -
公開（公告）號 CN114649188A 公開（公告）日 2022-06-21
申請公布號 CN114649188A 申請公布日 2022-06-21
分類號 H01J37/32（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉小俊;胡如健;李春龍;卓鴻俊 申請（專利權(quán)）人 北京子牛亦東科技有限公司
代理機構(gòu) 北京辰權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)科谷一街10號院6號樓3層305-11（北京自貿(mào)試驗區(qū)高端產(chǎn)業(yè)片區(qū)亦莊組團）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種耐腐蝕的氣體噴淋頭及其制作方法，該耐腐蝕的氣體噴淋頭包括：噴淋頭本體，包括進氣面和與所述進氣面相對設(shè)置的出氣面；多個氣孔，貫穿所述進氣面和所述出氣面設(shè)置；所述出氣面上由內(nèi)到外依次設(shè)置有保護層和阻擋層，所述保護層用于保護所述噴淋頭本體以免被腐蝕，所述阻擋層用于阻擋所述保護層與等離子體發(fā)生反應(yīng)。該氣體噴淋頭通過在噴淋頭本體的出氣面覆蓋一層抗腐蝕性能力較強的保護層，同時在保護層上再覆蓋一層阻擋層，可以保護噴淋頭本體以免被腐蝕，提高耐腐蝕性，使其具有更佳的穩(wěn)定性。