一種用于化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備的研磨頭的隔膜

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111576265.2 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN114473853A 公開（公告）日 2022-05-13
申請公布號(hào) CN114473853A 申請公布日 2022-05-13
分類號(hào) B24B37/11（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 左少杰;李春龍;劉小俊;卓鴻俊 申請（專利權(quán)）人 北京子牛亦東科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京辰權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)科谷一街10號(hào)院6號(hào)樓3層305-11（北京自貿(mào)試驗(yàn)區(qū)高端產(chǎn)業(yè)片區(qū)亦莊組團(tuán)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備的研磨頭的隔膜，該隔膜通過增大圓形膜片的直徑并相應(yīng)增大隔膜第一區(qū)的寬度，使第一區(qū)可直接接觸晶圓并作用于晶圓邊緣部分，同時(shí)利用第一卡環(huán)底部的凸起結(jié)構(gòu)將晶圓固定，從而實(shí)現(xiàn)晶圓邊緣厚度的精確控制，實(shí)現(xiàn)晶圓表面的平坦化。