一種新型的用于離子注入機(jī)的離子源的陰極固定裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111321157.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114220726A 公開（公告）日 2022-03-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN114220726A 申請(qǐng)公布日 2022-03-22
分類號(hào) H01J37/317（2006.01）I;H01J37/30（2006.01）I;H01J37/04（2006.01）I;H01J9/18（2006.01）I;H01J37/08（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳濤;李春龍;劉小俊;卓鴻俊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京子牛亦東科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京辰權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張曉玲
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)科谷一街10號(hào)院6號(hào)樓3層305-11（北京自貿(mào)試驗(yàn)區(qū)高端產(chǎn)業(yè)片區(qū)亦莊組團(tuán)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于離子注入機(jī)的離子源的陰極固定裝置，包括：緊固件；卡具，所述卡具設(shè)置在陰極外圍，其上設(shè)置有凸塊，所述凸塊上設(shè)置有連接孔，所述連接孔用于配合緊固件將所述卡具固定在陰極上；以及支撐結(jié)構(gòu)，所述支撐結(jié)構(gòu)通過緊固件與所述凸塊連接。本發(fā)明的陰極固定裝置取消陰極杯體底部的中間桿，由設(shè)置在陰極外圍的卡具和與卡具連接的支撐結(jié)構(gòu)來固定陰極，將承重部位由中間桿變成整體外圈受力，可以有效避免因中間桿變形而引起的短路，提高離子注入機(jī)的利用率，節(jié)約人力和物力。本發(fā)明還涉及包括所述陰極固定裝置的離子源，以及利用上述陰極固定裝置固定陰極的方法。