制備金屬和陶瓷復合膜的真空離子鍍膜機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN98249501.3 申請日 -
公開（公告）號 CN2356042Y 公開（公告）日 1999-12-29
申請公布號 CN2356042Y 申請公布日 1999-12-29
分類號 C23C14/35 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 胡顯奇 申請（專利權）人 深圳市黃金屋真空科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 518053廣東省深圳市華僑城東E工業(yè)區(qū)5棟5樓東座胡顯奇轉
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于金屬表面處理可制備金屬和陶瓷復合膜的真空離子鍍膜機。它是在常規(guī)的真空離子鍍膜機上再配置射頻(R.F)磁控濺射靶，將其與多個電弧蒸發(fā)靶、多個多種直流(D.C)磁控濺射靶有機地組合在一個真空室內，制備出既有金屬相又有陶瓷相特性的多層多種復合膜，尤其是能鍍制出透明陶瓷保護膜，使金屬表面改性達到高耐磨損、強耐腐蝕的目的。