玻璃鍍膜設(shè)備及其平面陰極
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021103582.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212476870U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-02-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212476870U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-05 |
| 分類號(hào) | C23C14/34(2006.01)I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 董清世;陳大偉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 信義玻璃（天津）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳中一聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 李金偉 |
| 地址 | 300000天津市濱海新區(qū)天津新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)武清開(kāi)發(fā)區(qū) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)屬于玻璃鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種玻璃鍍膜設(shè)備及其平面陰極，該平面陰極包括陰極背板和至少兩個(gè)平面靶材，陰極背板具有安裝面，各平面靶材均安裝于安裝面上，各平面靶材間隔設(shè)置，相鄰的兩個(gè)平面靶材之間均形成有間隙槽，相鄰的兩個(gè)平面靶材彼此相對(duì)的端面設(shè)置有第一凸起和第二凸起，在沿垂直于安裝面的方向上，第一凸起和第二凸起上下設(shè)置，第一凸起的凸伸高度與第二凸起的凸伸高度之和大于等于間隙槽的槽寬。該平面陰極相鄰兩個(gè)平面靶材拼接時(shí)不會(huì)出現(xiàn)由上而下垂直貫穿的縫隙，這樣濺射氣體不會(huì)通過(guò)垂直縫隙對(duì)陰極背板的侵蝕，也解決了陰極靶材背板受長(zhǎng)時(shí)間濺射而被侵蝕損壞的問(wèn)題，有效的提升了平面陰極的壽命，提高了鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量。?? |
