多晶硅還原系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821118385.1 申請日 -
公開（公告）號 CN208413865U 公開（公告）日 2019-01-22
申請公布號 CN208413865U 申請公布日 2019-01-22
分類號 C01B33/03 分類 無機化學;
發(fā)明人 張金寶;方仕林;魯瑞堯;隋寶勛 申請（專利權）人 新疆合晶能源科技有限公司
代理機構 北京鼎佳達知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 新疆合晶能源科技有限公司
地址 832000 新疆維吾爾自治區(qū)石河子開發(fā)區(qū)北四東路37號5-10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種多晶硅還原系統(tǒng)，涉及多晶硅生產(chǎn)技術領域，主要目的是提供一種能夠降低生產(chǎn)過程中無定型硅粉產(chǎn)生的多晶硅還原系統(tǒng)。本實用新型的主要技術方案為：一種多晶硅還原系統(tǒng)，包括：還原單元；進氣單元，進氣單元包括氣化部、混合部和換熱部，氣化部連接于混合部，用于將三氯氫硅氣體通入混合部，換熱部包括換熱器和加熱器，換熱器的一端連接于混合部，用于加熱三氯氫硅和氫氣的混合氣體，另一端連接于還原單元，用于將混合氣體通入還原單元，加熱器連接于換熱器，用于加熱換熱器；尾氣單元，尾氣單元包括冷卻部和回收部，冷卻部連接于還原單元，回收部連接于冷卻部。本實用新型主要用于多晶硅生產(chǎn)。