一種主基板用表面精整制造打磨裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910483579.4 申請日 -
公開（公告）號 CN110193760B 公開（公告）日 2021-06-04
申請公布號 CN110193760B 申請公布日 2021-06-04
分類號 B24B7/07;B24B7/00;B24B41/06;B24B41/02 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 于大明;姜珂;趙立軍 申請（專利權(quán)）人 深圳市華芯技研科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市潤啟知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 孟麗娟
地址 518000 廣東省深圳市南山區(qū)粵海街道新西路彩虹科技大廈2樓D
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種主基板用表面精整制造打磨裝置，包括操作臺、驅(qū)動電機(jī)和打磨盤，驅(qū)動電機(jī)設(shè)置于操作臺的上方，操作臺的頂端設(shè)有位置調(diào)整機(jī)構(gòu)，操作臺頂端的中部固定連接有載物罩，操作臺底端的一側(cè)固定連接有抽氣泵，抽氣泵通過抽氣管與載物罩的內(nèi)腔連通，抽氣管的一端固定連接有密封管頭，且密封管頭與載物罩內(nèi)腔的底端固定連接。本發(fā)明利用抽氣泵和抽氣管將載物罩內(nèi)的空氣抽出，使載物罩內(nèi)形成負(fù)壓，從而將主基板吸附固定在載物罩的頂端，以便于打磨盤對主基板的上表面進(jìn)行全面打磨，省去了二次打磨的繁瑣，提高了主基板的打磨質(zhì)量。