一種芯片生產(chǎn)用除塵裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201920796637.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN210207925U | 公開（公告）日 | 2020-03-31 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210207925U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-03-31 |
| 分類號(hào) | B08B5/04(2006.01)I | 分類 | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 張益銘 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海芯強(qiáng)微電子股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 200040上海市靜安區(qū)南京西路1486號(hào)3號(hào)樓422室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種芯片生產(chǎn)用除塵裝置，包括橫板，所述橫板的底部外壁四角均設(shè)置有支撐腿，且支撐腿的底部外壁均固定有移動(dòng)機(jī)構(gòu)，兩個(gè)支撐腿的一側(cè)外壁設(shè)置有同一個(gè)支撐板，所述橫板的頂部外壁設(shè)置有吸塵機(jī)構(gòu)，且橫板的底部外壁焊機(jī)有粉塵處理箱，所述粉塵處理箱的底部外壁和兩個(gè)支撐板的一側(cè)外壁均設(shè)置有吸塵罩，且粉塵處理箱的底部?jī)?nèi)壁放置有毒氣處理機(jī)構(gòu)，所述粉塵處理箱的內(nèi)壁兩側(cè)設(shè)置有同一個(gè)活性炭吸附層。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置有支撐板和吸塵罩，同時(shí)在左右兩側(cè)和裝置的頂部均設(shè)置有吸塵罩，可以同時(shí)對(duì)這三個(gè)方位進(jìn)行吸塵操作，可有效提高裝置的吸塵效率，有效防止殘留的細(xì)微藥物粉塵對(duì)操作人員的危害。?? |
