一種芯片生產(chǎn)用除塵裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920796637.4 申請日 -
公開（公告）號 CN210207925U 公開（公告）日 2020-03-31
申請公布號 CN210207925U 申請公布日 2020-03-31
分類號 B08B5/04(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 張益銘 申請（專利權）人 上海芯強微電子股份有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 200040上海市靜安區(qū)南京西路1486號3號樓422室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種芯片生產(chǎn)用除塵裝置，包括橫板，所述橫板的底部外壁四角均設置有支撐腿，且支撐腿的底部外壁均固定有移動機構，兩個支撐腿的一側外壁設置有同一個支撐板，所述橫板的頂部外壁設置有吸塵機構，且橫板的底部外壁焊機有粉塵處理箱，所述粉塵處理箱的底部外壁和兩個支撐板的一側外壁均設置有吸塵罩，且粉塵處理箱的底部內(nèi)壁放置有毒氣處理機構，所述粉塵處理箱的內(nèi)壁兩側設置有同一個活性炭吸附層。本實用新型通過設置有支撐板和吸塵罩，同時在左右兩側和裝置的頂部均設置有吸塵罩，可以同時對這三個方位進行吸塵操作，可有效提高裝置的吸塵效率，有效防止殘留的細微藥物粉塵對操作人員的危害。??