一種芯片生產(chǎn)用清洗設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920796640.6 申請日 -
公開（公告）號 CN210207808U 公開（公告）日 2020-03-31
申請公布號 CN210207808U 申請公布日 2020-03-31
分類號 B08B3/02(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 張益銘 申請（專利權(quán)）人 上海芯強微電子股份有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 200040上海市靜安區(qū)南京西路1486號3號樓422室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種芯片生產(chǎn)用清洗設(shè)備，包括基座，所述基座底部外壁的兩側(cè)均焊接有支架，且基座的頂端焊接有封閉框，所述封閉框的兩側(cè)均開有通口，且封閉框的頂端外壁設(shè)置有供水機構(gòu)，所述基座頂端的一邊焊接有烘干箱，且烘干箱內(nèi)設(shè)置有烘干組件，所述封閉框的頂端內(nèi)壁設(shè)置有噴淋清洗機構(gòu)。本實用新型機械化噴水清洗，能夠通過水泵抽液的方式在芯片上進行噴淋清洗液，快速全面清潔，提高了芯片的清洗效率，能夠通過烘干風(fēng)機吹風(fēng)烘干的方式，加速芯片干燥，能夠有效節(jié)省芯片干燥時間，提高了芯片加工的生產(chǎn)效率，且設(shè)置斜板能夠通過斜板將芯片滑出。??