晶圓盒搬運(yùn)機(jī)器人

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110189522.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112936217A 公開（公告）日 2021-06-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN112936217A 申請(qǐng)公布日 2021-06-11
分類號(hào) B25J5/00;B25J19/00 分類 手動(dòng)工具；輕便機(jī)動(dòng)工具；手動(dòng)器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 黃宗勇;丁凱旋;楊超 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳優(yōu)艾智合機(jī)器人科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市力道知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 何姣
地址 518000 廣東省深圳市福田區(qū)深南中路2070號(hào)電子科技大廈D座5樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及晶圓搬運(yùn)技術(shù)領(lǐng)域，具體公開一種晶圓盒搬運(yùn)機(jī)器人。晶圓盒搬運(yùn)機(jī)器人包括自動(dòng)導(dǎo)引車、托持裝置、設(shè)于自動(dòng)導(dǎo)引車上的晶圓盒承載裝置及用于驅(qū)動(dòng)托持裝置運(yùn)動(dòng)的機(jī)械臂；托持裝置用于托持兩相對(duì)側(cè)分別凸設(shè)有托柄的晶圓盒，包括兩個(gè)間隔相對(duì)設(shè)置以分別用于一對(duì)一承托兩個(gè)托柄的承托臂和連接于兩個(gè)承托臂之間的連接臂；晶圓盒承載裝置包括安裝于自動(dòng)導(dǎo)引車上的座體和設(shè)于座體上的承載平臺(tái)；承載平臺(tái)上形成有至少一個(gè)用于承載晶圓盒的容置槽；機(jī)械臂的一端與座體連接、另一端與托持裝置連接以使托持裝置托持晶圓盒至容置槽中或從容置槽中取出。本發(fā)明的晶圓盒搬運(yùn)機(jī)器人具有晶圓盒托持方便、可控性好、可靠性高及搬運(yùn)效率高等特點(diǎn)。